X射线能量色散谱仪（energy dispersive X-ray spectrometer; EDS），理学-物理学-软物质物理学-〔测量〕，用来测量X射线能量色散谱的仪器。X射线能量色散谱仪主要用于样品元素组成的分析。主要工作原理是基于原子内层电子受激发后发射X射线这一物理现象。每一种元素都有其特征X射线发射谱，这是X射线能量色散谱定性分析的依据。当原子内层电子被激发后向更高能级跃迁，此时将产生一个电子空穴，外层高能级电子填补此空穴时多余的能量以发射X射线的形式得以释放。X射线能量色散谱仪通过检测原子发射的X射线来进行元素定性分析。用以激发的射线可以是X射线或电子束，前者通常称为X射线荧光光谱，而后者才是通常所指的X射线能量色散谱。由于电子束可以聚焦，可与电子显微技术联用，如扫描电子显微镜、扫描透射电子显微镜等。X射线能量色散谱仪可用于样品微观元素分布的测量，因此也被称作X射线能量色散微分析方法，其空间分辨率随电子束大小和位置控制的精确度而定。