TOFD超声检测仪（time-of-flight-diffraction ultrasonic test instrument），工学-仪器科学与技术-试验机-[无损检测仪器与设备]-[声学检测仪器与设备]，应用衍射时差法（TOFD）技术实施无损检测的仪器。简史20世纪70年代，为满足裂纹检测的需求，世界各国开展了裂纹超声散射问题的研究，英国哈威尔国家无损检测中心率先提出了利用超声波传播时间进行检测的方法。至90年代，无损检测界开始研制便携式TOFD超声检测仪和一些关键辅助技术，制造出适用的TOFD仪器设备，逐渐发展出了TOFD检测。中国在80年代初由中国科学院声学研究所开展了裂纹尖端衍射信号的研究，90年代开始引进TOFD检测技术。2005年，中国科学院武汉中科创新技术股份有限公司研发出国产第一台TOFD专用检测仪器，之后，多家国内公司自主研发出多种TOFD超声检测设备。