微束X射线荧光谱仪（micro X-ray fluorescence spectrometer），工学-核技术-〔离子束技术〕，可以对样品进行微束X射线荧光分析的设备。微束X射线荧光谱仪主要由X射线光源、X射线探测器、样品台、转角设施和X射线约束器件等硬件组成，同时还配有调控软件和分析软件。在X射线光源和样品台之间放置X射线约束器件，从而将X射线光源发出的X射线约束为符合微束X射线荧光分析要求的X射线微束，然后利用该微束激发样品，对样品进行元素组成等分析。微束X射线荧光谱仪便于对微小样品进行荧光分析，也可以对较大样品进行两维扫描荧光分析。在食品、生物、地质、材料、考古等领域具有广泛的应用。