半导体器件测试系统（semiconductor devices testing system），工学-仪器科学与技术-电子仪器科学与技术-自动测试与故障诊断系统-自动测试系统，实现半导体分立器件和半导体集成电路特性参数综合测试的仪器。分类根据半导体器件的特点，半导体器件测试系统主要分为三类：数字、低频及微波半导体器件测试系统，测试并表征半导体器件的数字、低频和微波特性参数是相应系统的核心指标。随着半导体器件的发展，半导体器件测试系统显示出测试应用多功能综合、测试效能高、测试规模大及高度集成等特点及发展趋势。