直流热阴极等离子体化学气相沉积

直流热阴极等离子体化学气相沉积（direct current hot cathode plasma chemical vapor deposition），材料科学技术名词，采用高温热阴极以及在大的放电电流和高的气体气压下实现长时间稳定的辉光放电，制备大尺寸厚膜的方法。