常压金属有机化合物气相外延

（材料科学技术）

常压金属有机化合物气相外延（atmosphere pressure metalorganic vapor phase epitaxy），材料科学技术名词，在常压条件下，利用金属有机化合物的分解和化合，在半导体单晶衬底上沿确定的晶向生长单晶薄层的工艺。