低压金属有机化学气相沉积

（材料科学技术）

低压金属有机化学气相沉积（low pressure metalorganic chemical vapor phase deposition），材料科学技术名词，在低于一个大气压条件下，将金属有机化合物通过气相输运到材料的衬底上的工艺。生长的薄层不一定是单晶。