新型等离子体发生装置是一种用于材料科学领域的科学仪器，于2011年12月16日启用。等离子体密度(螺旋波天线源) 1011~1012cm-3 。（本次要求） 等离子体密度(LaB6离子源) 1012~1013cm-3 。（升级后要求） 束流密度(LaB6离子源，样品台中心直径1 cm内) ？1？1022m-2s-1 工作气压~0.1Pa时，本底真空度<10-6Pa 输运真空室长度2000mm，真空室内径＝300mm 轴向磁场（直径ф=0.5Φ内）>2000G，磁场轴向均匀度（中间1m范围）≈5%