光子扫描隧道显微镜

光子扫描隧道显微镜(PSTM)是电子扫描隧道显微镜的光学模拟，它对样品的光学特性特别敏感，且大大突破了传统光学显微镜的衍射极限的限制，是扫描探针显微镜家族中新出现的一个成员。光学显微镜使用方便 ，图像解释简单明了，对试样无损伤，可观察物质的自然状态，通过光谱技术还能研究其化学组成等 ，因而应用范围极广。 但其分辨率受光波半波长的衍射限制 ，约 0.2～ 0.5μm。现代半导体集成电路的线宽已小到十分之几微米，细胞生物学等领域也需要更高的分辨率。