非对称性交流溅射

（机械工程名词）

非对称性交流溅射（asymmetric alternate current sputtering）是2013年公布的机械工程名词，出自《机械工程名词第五分册》第一版。通过两个电极间的非对称性交流电压，使气体自持放电并把靶作为吸收较大正离子流电极的溅射。