电子束诱导电流法

电子束诱导电流法是指当高能电子束照射到有势垒的半导体样品上时。产生大量电子空穴对，在势垒区两边的一个扩散长度内产生的少数载流子，可扩散到势垒区产生电荷积累，称为电子束诱导电势。电子束诱导电流法是指当高能电子束照射到有势垒的半导体样品上时。产生大量电子空穴对，在势垒区两边的一个扩散长度内产生的少数载流子，可扩散到势垒区产生电荷积累，称为电子束诱导电势。