次级离子质谱

次级离子质谱是20世纪70年代以来发展起来的一种表面分析技术。它是以离子轰击固体表面，再将从表面溅射出来的次级离子引入质量分析器，经过质量分离后从检测-记录系统得出被分析表面的元素或化合物的组分。按不同工作模式，次级离子质谱仪器可分为静态次级离子质谱计、动态次级离子质谱计、次级离子成像质谱计和次级离子微探测束。