离子注入技术

离子注入技术:把掺杂剂的原子引入固体中的一种材料改性方法。简单地说，离子注入的过程，就是在真空系统中，用经过加速的，要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料，从而在所选择的(即被注入的)区域形成一个具有特殊性质的表面层(注入层)。不同类型的离子源用于产生各种强度的离子束;质量分析器用来除去不需要的杂质离子;束流扫描装置用来保证大面积注入的均匀性;靶室用来安装需要注入的样品或元器件，对不同的对象和不同的注入条件要求可选用不同构造的靶室。