光学面形计量技术（metrology technology of optical surface），工学-仪器科学与技术-计量学-光学计量-几何光学计量，对光学元件的面形偏差进行测量，保证单位统一和量值准确可靠的技术。主要利用光学手段测量光学元件的实际面形与设计面形的偏差。光学面形测量对象包括平面光学元件、球面光学元件和非球面光学元件，测量结果可以用光圈数、峰谷值（PV值）、均方差值（RMS值）、象散偏差、局部偏差等技术指标来量化。有些测量方法可给出三维数据点阵或形貌图结果便于直接观察。光学面形偏差的单位通常为微米、纳米、光圈数、波长等。以波长为单位时，除非另有规定，通常以汞绿色谱线（e线）为参考波长，波长为546.07纳米。光学面形测量方法可分为接触式测量法和非接触式测量法。接触式测量法主要包括光圈识别法、三平板绝对测量、球面绝对测量、三坐标测量法、二维轮廓扫描法和三维轮廓扫描法等，非接触式测量方法主要包括干涉法、三角法、飞行时间法和刀口阴影法等。其中干涉法的原理是通过对被测表面和参考面之间形成的干涉条纹图案的判读和解析来测量面形偏差，具有通用性好、精度高的特点，因而得到广泛的应用。