零差激光干涉测量（homodyne laser interferometer），工学-光学工程-激光器与激光技术-激光干涉测量-激光干涉测量技术-零差激光干涉测量，干涉光路中测量光和参考光波长（频率）相同，通过一定的光学器件使测量光和参考光相遇叠加而产生干涉的方法。其本质是以激光波长作为测量基准，通过监测激光在参考臂和测量臂中光程差，可获得被测目标的位移量或位移相关量。图1 零差激光干涉测量原理示意图图2 零差激光干涉测量位移信息调制与解调在激光干涉测量中，零差激光干涉测量原理见图1。单频激光器发出真空波长为的激光束，该激光束被分光器件分成两部分光束，一部分光进入测量臂与被测目标产生作用，其相位、频率被测量调制，称为测量光；另外一部分光进入参考臂一般不与被测目标产生作用，在测量过程中其传播路径、相位和频率均保持不变，称为参考光。测量光与参考光相互干涉获得干涉信号，干涉信号中包含被测量信息，但其中心频率远低于激光频率。其中测量光经可移动被测目标反射、参考光被固定的参考目标反射，反射回来的测量光和参考光在分光器件上的同一点汇合产生干涉光，光电探测器将干涉光转换成测量信号。