双频干涉位移测量

双频干涉位移测量（dual frequency interference measurement），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻机测量系统，利用双频氦氖激光器，以激光波长为基准，按多普勒频移和干涉原理产生干涉条纹进行几何量测量。双频干涉位移测量具有以下优点：稳定性好，抗干扰能力强，可在较快的位移速度下测量较大的距离，使用范围广，使用方便，测量精度高。双频激光干涉位移测量系统由双频激光器、干涉仪、导光元件、准直器、接收器、计数卡、VME机箱和显示器等部件组成。双频激光器产生稳频的、偏振态相互垂直的双频激光。干涉仪将偏振光分开。准直器将测量光和参考光叠加，产生干涉条纹。可移动平台携带着干涉仪的反射镜（或角锥棱镜）和待测物体一起沿入射光方向平移。激光接收器进行光电转换。计数卡作用是对干涉条纹的移动进行计数。环境补偿单元对环境变化导致的误差进行检测和补偿。激光器发出偏振态相互垂直的双频激光，干涉仪将偏振光分开，用于测量的一束偏振光，照射在移动部件上，会由于多普勒效应产生频差∆f，这束测量光和从激光器发出的参考光经过接收器后，转化成电信号，并输入激光计数卡。