硅基薄膜太阳电池

硅基薄膜太阳电池（silicon based thin film solar cell），工学-光学工程-光学应用-光伏与光热-太阳电池，采用硅基薄膜材料制成的太阳电池。硅基薄膜从结晶特性角度分为非晶硅（amorphous silicon，a-Si）、微晶硅（microcrystalline silicon，µc-Si）和纳米硅 (nanocrystalline silicon，nc-Si)；从材料角度分为硅基薄膜及硅基合金薄膜，如硅锗合金、硅碳合金等。硅基薄膜太阳电池适用于与建筑结合的光伏发电系统。20世纪60年代末，英国标准通讯实验室采用辉光放电制取了氢化非晶硅（a-Si:H）薄膜。1976年美国无线电公司(radio corporation of America，RCA)实验室D.E.卡尔森（David E Carlson）等人做出了氢化非晶硅太阳电池，转换效率为2.4%。1994年J.梅耶（J Meier）等制备氢化微晶硅（mc-Si:H）太阳电池。根据衬底透明性分为PIN型上衬底结构和NIP型下衬底结构两类：①PIN型上衬底结构（图1a）。