表面反射光谱技术（surface reflectance spectroscopy），工学-光学工程-光学应用-光学测量-微纳米测量-光谱技术，利用光由被测物体反射前后，光的属性（如光强、偏振态、相位等）发生变化的现象，间接获得被测物体属性的一种测量方法。在微纳测试领域，表面反射光谱技术主要用于反射率、薄膜厚度、粗糙度和光学常数的测量，具有测量设备简单、精度高、速度快、非接触、无损伤和适合实时或在线测量等特点。光在到达物体的表面时，由于周围介质与物体的光学属性差异，光束在界面处被分成反射光和透射光两部分。根据菲涅耳公式，反射光谱与界面两侧的物体和周围介质的光学系数、入射角度、波长、薄膜厚度等参数相关。反射光谱技术通常以垂直入射的角度进行测量。在获得反射光谱数据后，根据测试样品的膜层结构，结合菲涅耳公式，建立反射光谱数学模型，反向计算薄膜厚度的最佳解析值。当薄膜厚度较厚时，由于薄膜上下表面的反射光叠加形成干涉，反射光谱沿波长方向呈现周期性条纹变化。此时，利用光谱干涉特性与薄膜厚度、光学常数以及光波长的内在联系，可求得薄膜厚度的最优解。