激光散斑干涉测量

激光散斑干涉测量（laser speckle interfer），工学-光学工程-激光器与激光技术-激光干涉测量-激光干涉测量技术-激光散斑干涉测量，当激光照射粗糙表面时，漫散射光在物体表面前方相遇而产生干涉，形成散斑场，利用光电探测器接受散斑干涉信号，当物体表面发生刚体位移或弹性变形时，通过比较物体变形前后散斑的变化，从而测得物体各部分的位移或应变，称为散斑干涉测量。如图所示，激光器发出光束经分光镜分成两束，一束作为测量光束经扩束镜照射到测量物体上，由测量物体反射成像在CCD平面上，另一束作为参考光束经分光棱镜反射后也照射在CCD面上，参考光束就与物光束共轭，产生干涉作用。由CCD接收散斑干涉图样并转化为标准视频信号，输入计算机记录（存储）及处理。设物体沿方向（即沿与物面垂直方向）有位移，理论上证明，变形前后散斑的位相变化为：其中，是所用激光的波长，是照明光与物体表面法线的夹角，是物体变形的离面位移，是物体变形的面内方向位移。在一般情况下，照明角较小，，所以：散斑干涉可分为双光束散斑干涉法和单光束散斑干涉法。