多波长干涉测量法（multiwavelength interferometry measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-量块校准，以光波干涉原理为基础的非接触式测量方法。多波长干涉测量法包含多种波长的入射光照射在被测目标上，被测目标不同表面反射回的光叠加后，发生干涉，干涉后的光强与入射光强的比值为相应介质（如空气薄膜）的光强反射率。当其他条件不变时，该光强反射率决定于入射光波长和介质信息。经过不同颜色的滤光片选频后，测得该介质对应于不同波长的三个光强反射率，然后根据介质信息与入射光波长和相应的光强反射率之间的函数关系建立方程组。对方程组求解，便可计算出介质的长度、厚度、深度等被测信息。根据干涉理论，对于任意结构的表面，使用波长为的光波进行测量，深度、长度、厚度等被测量与测出的相位之间的关系为（对反射式测量）：式中为干涉条纹级次；为测得的相位且。多波长干涉测量方法是利用多波长干涉测量结果的差异求出干涉级次，从而达到获取被测点的深度、长度、厚度等被测信息的目的。