氦离子束扫描电镜（helium ion beam scanning electron microscope），工学-石油与天然气工程-非常规油气-〔非常规储层测试〕-〔非常规油气实验测试技术〕，通过聚焦离子束（He离子束）的连续切割和电子束的实时成像，用于纳米结构分析和纳米材料加工的仪器。可以清晰地在纳米尺度的分辨率下对页岩各组分尤其是孔隙进行三维、高稳定性、高质量的显微形貌及结构的观察与分析，该技术不仅具有较高的分辨率，还避免了制样过程中产生的人造孔隙，能够真实地还原页岩中孔隙的三维结构特征。因此，在研究页岩储层的纳米级孔隙上得到广泛应用。聚焦离子束氦离子显微镜（FIBHIM）为最新应用于非常规油气储层微观领域探测的技术，其具有高分辨率特征，分辨精度可达到亚纳米级，针对页岩储层中直径为0～20纳米的孔隙具有较强的识别能力，且在高放大倍数下拥有聚焦集中、成图清晰的特征。