光学聚焦式轮廓仪（optic-focusing profilometer），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-光纤陀螺惯性导航，基于聚焦误差信号检测原理的激光测量方法。又称光学探针法。光学聚焦式轮廓仪测量原理是入射光通过分光镜，由聚焦物镜L将光束聚焦为一光点至被测表面，在被测表面反射后经物镜和分光镜至光电探测器D，光电探测器D将测得的光强转换为电信号。系统扫描测量时，光点沿被测表面移动。如果被测物体表面起伏变化，焦点偏离其聚焦位置，那么反射光经分光镜后光束由平行光变为发散光或会聚光。由所接收的信号反馈控制聚焦物镜L移动，使光电重新聚焦于被测表面，表面形貌信息就由物镜的移动来描述。基于这一原理，相继衍生出了光强法、差分法、临界角法、像散法、傅科刀口法、偏心光束法等聚焦探测方法。