超快低能电子衍射（ultrafast low energy electron diffraction; ULEED），工学-光学工程-光学传输-瞬态光学，一种用于测定晶体材料表面结构的实验手段。时间分辨表面研究已经展示了大量准二维系统中的超快现象，如薄膜的声子限制效应，表面弛豫重建和单层吸附系统中的复杂结构，表面预熔化和电子与晶格系统之间的强耦合形成的温稠密物质。尽管不断发展各种实验技术来进一步提高时间分辨率，表面形貌的平整度、大的探测区域以及超薄样品的制备等却使得实现高表面灵敏度十分困难。低能电子衍射因其衍射电子仅探测顶层原子而展现出大的散射截面和高表面灵敏度，非常适合于确定晶体材料的表面结构。