金属材料微观分析（microanalysis of metals），工学-矿冶工程-〔冶金工程〕-金属热处理-金属材料微观分析，对金属与合金中各种相的形貌（形状、大小和分布等）、晶体结构、化学组成等微观结构研究的统称。金属与合金的性能与其微观组织密切相关。随着微束分析仪器的不断发展，对金属与合金的分析也逐渐深入，由过去的毫米、微米尺度正在进入纳米（1纳米＝10-9米＝10埃）尺度。在某些特殊情况下，甚至可以直接观察单个原子，并确定其原子序数。根据微束源不同，微观分析仪器可分为光子束、电子束和离子束3大类（图1）。此外中子衍射也有所应用。