质量流量传感器（mass flow sensor），工学-仪器科学与技术-传感器-［被测原理］-物理量传感器-力学量传感器-流量传感器，将感受的流体质量流量转换成可用输出信号的传感器。是测量液体、气体或固体颗粒等流体在单位时间内流经某一截面的质量的传感器。根据测量方式分为直接式和间接式质量流量传感器。直接式直接检测与质量流量成比例的量来测量流量，如热式、冲量式、压差式、双涡轮式、科里奥利质量流量传感器等。间接式通过同时测量体积流量和流体密度来计算质量流量，如体积流量经密度、温度和压力补偿后形成的各式质量流量传感器等。质量流量传感器在间接测量和直接测量方法中都有一定的应用。间接测量方法由于引入多个中间参数的测量并进行运算和修正，积累误差较大，但其测量方式具有较好的继承性，便于用户使用维护，在工业上得到普遍应用。在各类直接式质量流量传感器中，科里奥利质量流量传感器由于能够高准确度地直接测量管道内流体的质量流量，而且稳定度高、可靠性好、量程比大，又适用于高黏度流体，所以受到较多关注。科里奥利质量流量传感器是利用流体在直线运动的同时处于一旋转系中，产生与质量流量成正比的科里奥利力原理制成。