真空热处理技术（vacuum heat treatment technology），工学-航空宇航科学与技术-航空-航空制造技术-热处理技术，在真空气氛中进行退火、淬火、回火等的热处理技术。目的是实现结构复杂件不同部位或不同材料温度场和冷却速率场的精确控制。真空气氛下进行热处理，无氧化、无吸氢、可保持零件表面光亮，同时可使零件脱脂、脱气、变形小、节能。按处理过程，真空热处理技术可分为真空预处理和真空终处理。真空预处理的目的是均匀组织，消除应力；真空终处理目的为改善组织和控制形状尺寸。航空航天工业对热处理质量不断提出更高的要求，真空热处理在该领域中的应用更为广泛。真空热处理已由简单的真空退火、真空除气向真空淬火、真空回火、真空化学热处理等方向发展。对于某些可热处理强化的铝合金、钛合金、钢要进行固溶时效热处理，通常需要真空水淬、真空油淬、真空负压气淬、真空正压气淬和真空等温淬火、真空蠕变校形等。真空热处理示意图金属在真空状态下的相变特点是固态相变热力学、动力学不产生变化。在制定真空热处理工艺规程时，完全可依据在常压下固态相变的原理，可参考常压下各种类型组织转变的数据。