白光干涉测量法（white light interferometry measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-量块校准，一种精密测量几十纳米到几厘米的物体表面轮廓的光学非接触式测量方法。与基于单色光干涉模型测量方法相比，白光干涉测量法克服了台阶高度测量受限的缺点，能够对非连续结构粗糙表面形貌进行测量。白光宽带光束通过分束镜分为测量光束和参考光束，分别照亮被测物和参考镜表面。参考光束经参考镜反射，测量光束经被测物反射或散射。反射光束经过分光镜传送给摄像机，摄像机采集被测物表面形貌的白光干涉条纹。通过对采集干涉条纹的分析计算获取被测物表面形貌信息。白光干涉测量原理示意图在白光干涉测量法中，光谱中各色光都有可能参加干涉，并将干涉光强叠加到最后形成的干涉图像上。因此在表面形貌测量中白光干涉形成的干涉条纹是由各色光干涉图像叠加形成的。被测表面的深度不同，两束光的干涉光强不同，干涉条纹的对比度不同，组成干涉条纹的光谱成分也不同。在白光干涉表面形貌测量中，被测表面的深度信息被编码到干涉图像的强度、对比度及光谱成分等信息中。