非平衡等离子体（non-equilibrium plasma），工学-工程热物理及动力工程-工程热物理-燃烧学-非常规燃烧-等离子体燃烧-非平衡等离子体，未达到热力学平衡的等离子体，与热力学平衡等离子体相对。非平衡等离子体中各种粒子没有经过充分碰撞，电子温度高达104开以上，而离子和原子之类的重粒子温度却可低到300～5004开，所以非平衡等离子体也被称作低温等离子体。人类对等离子体的系统认识开始于19世纪30年代的气体放电研究，在20世纪初建立了等离子体概念。到70年代末，发展成为一门独立的分支学科，其研究对象为天体等离子体、近地电离层空间等离子体和包括非平衡等离子体在内的人工产生的实验室等离子体。实验室中常用的非平衡等离子体主要包括电晕放电、辉光放电、火花放电、介质阻挡放电、滑动弧光放电、微波等离子体及射频等离子体等。非平衡性等离子体广泛应用于大规模集成电路和光电显示器件制备，超硬、半导、超导膜沉积，无机与有机化学合成，环境治理污染控制等领域，且在几乎所有的等离子体工艺过程中，等离子体引发的化学过程都是其核心步骤。