周期非线性误差

周期非线性误差（periodic nonlinear error），工学-光学工程-激光器与激光技术-激光干涉测量-激光干涉测量原理误差-周期非线性误差，周期非线性误差是指在激光干涉测量中出现的与位移之间成现非线性与周期性的测量误差，根据激光测量原理不同周期非线性误差的产生原因及表现形式也不同，可以分为零差干涉仪周期非线性误差和外差干涉仪周期非线性误差。零差干涉仪周期非线性误差在理想情况下，零差激光干涉仪输出的干涉信号为幅度相等、无直流偏置且相差为90°的一对正交信号，此两信号形成的李莎茹图是以零点为中心的圆。若不考虑其他误差因素，此时零差激光干涉仪输出的位移与实际位移成1:1的理想线性关系。实际应用中，由于光学元件制造缺陷和安装误差、光电探测电路不完善等问题，零差激光干涉仪输出的干涉信号并不是理想的正交信号，而是幅度不相等、存在直流偏置且相差不为90°的一对非理想正交信号：这里和是直流偏置，和是不同的幅值，是非正交角度。此时，如图1所示，两干涉信号形成的李萨如图形是中心偏离原点、长短轴不在X、Y轴方向上的椭圆。