太赫兹相干层析（terahertz coherence tomography），理学-物理学-光学-〔光的应用〕-〔光的应用分支〕，利用太赫兹脉冲的相干层析技术。主要包含飞行时间层析技术和计算层析技术。飞行时间层析技术是太赫兹脉冲反射成像中的一类技术，即通过测量由样品表面和内部界面所反射的太赫兹信号，对样品表面和内部形貌进行重建的成像方法，与光学相干层析技术类似。飞行时间层析技术是在太赫兹反射时域光谱技术的基础上发展而来的，其一般采用宽频谱脉冲太赫兹辐射作为照明光源，并采用光电导天线、电光采样和空气等离子体等方法对由样品表面和内部反射的太赫兹信号进行时间分辨相干探测。对于内部具有多层结构的样品，由于在每一层界面处存在折射率的突变，会引发相应的反射太赫兹信号，形成反射太赫兹信号时域序列，利用这一信号序列可对样品内部各界面分布进行重建。计算层析技术是用太赫兹脉冲对物体某部一定厚度的层面进行扫描，由探测器接收透过该层面的太赫兹脉冲。由光电转换变为电信号，再经模数转换转为数字信号，输入计算机处理得到重建的三维图像。