微机械加速度计（micro-mechanical accelerometer），工学-控制科学与工程-导航-〔导航仪表〕-〔惯性仪表〕-加速度计，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础制作的新型加速度计，是微型惯性测量单元（MIMU）的核心元件。按有无反馈信号分类，可分为开环型和闭环型；按敏感信号分类，可分为电容式、压阻式、压电式、振动式和隧道电流式；按加工方式分类，可分为微机械表面加工式和微机械体加工式；按结构形式分类，可分为梳齿式、摆式和静电悬浮式；按敏感轴数量分类，可分为单轴、双轴和三轴。活动敏感质量元件是一个形的双侧梳齿结构，相对于固定活动敏感质量元件的基片悬空并与基片平行，与两端挠性梁结构相连，并通过立柱固定于基片上。由中央质量杆向其两侧伸出的梳齿形成动齿，构成可变电容的一个活动电极；直接固定在基片上的为定齿，构成可变电容的一个固定电极。定齿与动齿交错配置形成差动电容。载体感受的加速度反映为梳齿式电容的变化，测出电容的变化量即对应感受到的加速度。