振动冲击传感器（vibration and shock transducer），工学-仪器科学与技术-计量学-力学计量-振动冲击计量，将振动冲击运动转换为与其运动参数成一定函数关系的光信号、机械信号或电信号的装置。发展简况中国东汉时期科学家张衡，在公元132年就制成了世界上最早的惯性式振动传感器——地动仪（图1）。是利用惯性原理设计制成的，能探测地震波的主冲方向。近代的地震仪在1880年才制成，它的原理和张衡地动仪基本相似，但在时间上却晚了1700多年。地震仪等早期的振动冲击传感器主要采用机械敏感元件和机械指示的方式实现惯性测量。20世纪50年代后，由于电子技术的发展，出现了压电加速度计、电涡流位移传感器、磁电式振动传感器、伺服加速度计等基于机电敏感结构的电信号输出式传感器。80年代后，随着微电子技术的发展，采用集成电路制造工艺形成了新型半导体加速度计；随着激光技术和信号处理技术的发展，激光干涉测振仪和激光位移传感器等相对式光学传感器得到了长足的发展。