辉光放电光谱仪（glow discharge spectrometer），工学-仪器科学与技术-实验仪器-光谱仪，以辉光放电为激发源激发样品中待测元素，使其外层电子由高能激发态回到低能态，在此过程中以光子的形式释放能量而发射特征谱线，从而进行样品元素分析的仪器。辉光放电光谱仪由辉光放电源、光谱仪、检测器、计算机控制系统等主体设备，以及高纯氩气、氮气气源、冷却系统、压缩空气等配套设施组成。其基本原理是辉光放电源中氩等离子体不断轰击作为阴极的待测样品，使样品表面的原子溅射出，并与放电等离子体中粒子相互碰撞，碰撞过程中原子的外层电子吸收能量跃迁至高能级激发态，激发态的原子返回到基态过程中，以光子的形式释放出一定的能量，即不同波长的光，经光谱仪接收后由探测器检测。辉光放电光谱仪分析速度快，可检测包括氢（H）、锂（Li）、碳（C）、氮（N）、氯（Cl）、氧（O）、钙（Ca）在内的70余种元素，能获得样品表面纳米至微米级的深度分辨率。