低温等离子体法（low temperature plasma method），工学-工程热物理及动力工程-工程热物理-燃烧学-燃烧污染物-石油燃料尾气处理-低温等离子体法，利用气体放电产生的低温等离子体处理挥发性有机化合物等污染物的方法。低温等离子体（又称非平衡等离子体）是在外加电压的作用下，气体分子被击穿，产生包括电子、离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体在宏观尺度内呈电中性，且带电粒子之间不存在净库仑力和净磁力。低温等离子体法的基本原理是气体放电产生的高能电子撞击污染物分子，使其激发、离解和电离，由于气体放电产生的电子的能量很高，许多活化能很高的化学反应也能够发生，相应的化学反应速率也有所增加。进而引发的一系列的物理、化学反应，使得复杂大分子污染物质转变为简单小分子物质。