光学亚表面损伤

光学亚表面损伤（optical subsurface damage），工学-光学工程-材料与器件-光学设计与加工-光学检测-面形检测-光学亚表面损伤，光学元件近表面区域由机械加工过程造成断裂、变形和污染等内部缺陷的损伤。光学亚表面损伤区域可看作是表面和基体间的过渡层，该层在组成、微结构和应力状态上与基体有很大区别。光学材料是典型的硬脆材料，从最初的原料生产到最终的表面抛光过程很难进行精确的控制，所以即使精密的光学元件，也不可避免地产生空穴、裂纹、划痕、残余应力和夹杂物等亚表面损伤。亚表面损伤形式可能是材料本身固有的，也可能是在后续的磨削、研磨和抛光过程引入的。光学元件制造过程通常要经过以磨削加工为主的粗加工和以抛光加工为主的精加工这两个过程。