传感器封装技术

传感器封装技术（sensor package technology），工学-仪器科学与技术-传感器-［传感器制造］，将敏感元件（芯片）、结构部件（梁、岛、膜等）和传感系统（核心元件、信号处理电路等）通过相应的工艺技术和方法，集成或封装成一体的技术。特点传感器封装对传感器性能，特别是可靠性、稳定性、一致性有举足轻重的作用。传感器封装的好坏将最终决定传感器的综合性能，保证敏感芯片不会失效、检测失准或结构损坏；由于传感器存在可动功能结构件，并需依靠功能结构件感受、检测所需外界信号，传感器封装是功能结构件正常、稳定功能动作的保证；同时传感器的工作环境的保障也是由传感器的封装来实现的。传感器封装比IC封装更严苛。