非电离能量损失
(工学 | 核技术)
非电离能量损失(non-ionizing energy loss),工学-核技术-核技术基础,入射粒子与物质原子核相互作用,在材料中产生晶格缺陷和热的过程中损失的能量。入射粒子损失的能量也就是粒子在材料中沉积的能量,单位为兆电子伏·厘米2/毫克,它是用于描述辐射与物质发生弹性碰撞沉积能量的剂量学单位。对于半导体器件而言,非电离能量沉积导致位移损伤。
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