电子衍射分析（electron diffraction analysis），工学-材料科学与工程-材料基础-材料表征与分析-[X射线及电子衍射]，根据电子衍射效应产出的相应的衍射图推断和测定物质内部原子、分子排列的技术与理论。电子波与物质相互作用中能量基本不变的散射电子会产生衍射效应。研究简史 1927年美国C.J.戴维孙(Davisson)和L.H.盖末(Germer)在镍单晶，英国G.P.汤普森(Thompson)在金多晶薄膜分别获得电子衍射图，不但证明了电子的波动性质，而且为建立电子衍射这一新学科开辟了道路。电子衍射的几何分析与X射线衍射分析类似，衍射极大的方向都可以用晶体点阵平面的布喇格反射方程描述。不过所使用的电子波波长（如100千伏加速电压产生的电子波长为0.0037纳米）是X射线波长的1/100，使电子衍射显示晶体倒易点阵构形更为简便与直接。1928年日本的菊池（S.Kikuchi）在厚而完整的晶体中发现了线及条带状的电子衍射图，统称为菊池衍射。同年德国的H.A.贝特（Bethe）创立了电子衍射动力学衍射理论，为定量处理电子衍射图的强度及其后的结构分析奠定了基础。