圆孔衍射测量（circular aperture diffraction measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-衍射测量，利用光波圆孔夫琅禾费衍射原理对物体物理量进行测量的技术。当平面波照射到圆孔时，其远场夫琅禾费衍射像是中心为圆形亮斑-爱里斑，外面绕着明暗相间的环形。圆孔夫琅禾费衍射光强分布满足公式：式中，为中心点的光强；是一阶贝塞尔函数；而，为圆孔半径；为光波长。由于光学仪器中所用的孔径光阑、透镜的边框等都相当于一个透光的圆孔，所以圆孔的夫琅禾费衍射对光学系统的成像质量有直接影响。爱里斑光强约占总光强的84%，其半宽度为：对光学仪器来说，若一个点光源产生爱里斑的中心刚好与另一个点光源产生的爱里斑边缘相重合，这时两个爱里斑重合部分的光强约为单个爱里斑中央光强的80%左右，满足上述条件的两个点光源恰好能被该光学仪器所分辨，这一条件称为瑞利分辨判据。圆孔衍射测量技术的主要测量方法分为两种：①利用圆孔夫琅禾费远场衍射的爱里斑进行孔径的测量，称为爱里斑测量法。②利用透镜衍射的傅里叶变换，获得探测物体的频谱，进行物体的缺陷检测，称为衍射频谱检测法。