p型激活技术(activation of p-type GaN),工学-光学工程-光学应用-照明-光源-固态光源,GaN材料p型理论在20世纪初就已经阐明,受主通常是用Zn和Mg,但p型GaN长期并未获得,原因就是p型激活技术不明。早期,由于GaN材料制备手段有限,不能得到质量良好的GaN单晶薄膜,因而p型不能获得。后来,虽然GaN材料质量提高,背景载流子浓度降低,人们依然无法观察到GaN的p型导电。直到1989年,日本科学家利用低能电子束照射Mg掺杂的GaN,观察到薄膜样品发出蓝光,经确认,样品实现p型导电。后来,日本科学家N利用在氮气氛围退火Mg掺杂的GaN,同样可以实现p型,并且指出在前期Mg掺杂的GaN薄膜一直未能实现p型的一个原因是因为GaN中的Mg往往与H形成复合物,使样品钝化,电阻率很高。利用低能电子束照射样品和利用退火对样品处理,均能打破Mg-H复合物,使Mg孤立,从而产生p型导电,这个过程往往叫作GaN的p型激活。典型Mg掺杂GaN薄膜的电阻率随退火的温度变化如图所示。经过退火激活,薄膜的电阻率可以从~106Ω∙cm降低到~2Ω∙cm。