真空沿面绝缘（vacuum surface insulation），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-脉冲功率-﹝真空过程﹞，真空中绝缘子沿面的绝缘。在由固体-真空两种或两种以上的电介质构成的复合绝缘系统中，当在绝缘系统上施加一定电压时，在两种介质的交界面上最易发生放电；进一步提高电压，沿面放电发展为贯穿性的击穿，称为沿面闪络。沿面闪络的发生，导致系统绝缘失败，事故发生。因此，需要对固体表面进行处理，以提高其真空沿面绝缘强度。真空作为一种特殊的电介质，被广泛用于电气设备和现代电力电子器件中，如真空开关、脉冲功率开关以及多种粒子加速器等，在器件的真空间隙中引入的绝缘支撑表面上，或在真空器件的绝缘外壳上，存在远低于真空本身耐电强度和绝缘材料本征击穿场强下发生的沿面闪络。比如，真空的临界击穿场强约为350千伏/厘米，高纯度氧化铝陶瓷为300～400千伏/厘米，真空-氧化铝系统的沿面闪络通常在几十千伏每厘米的施加电场下就会发生。据报道，美国斯坦福直线加速器中心的调速管、美国能源部的加速器以及日本高能物理国家实验室的加速器都曾发生过由于真空中绝缘子沿面闪络现象。