光学表面疵病（optical surface flaws），工学-光学工程-材料与器件-光学设计与加工-光学检测-面形检测-光学表面疵病，在光学表面有效口径内加工过程中或过程后，某些不适当处置导致的表面局部缺陷。光学表面疵病包括局部表面缺陷、长划痕和破边，①局部表面缺陷，光学元件在制造过程中、制造过程后或应用阶段，由于在光学表面或光学元件和光学组件任意光学表面的不当操作，使得有效孔径内形成局部人为结构，其中局部人为结构包括划痕、麻点、开口气泡、擦痕、夹具印记、镀膜缺陷等。②长划痕，长度大于毫米的线长表面疵病，由于其长度较长，故更容易被检测到。③破边，虽然光学元件周围的局部人为结构有可能在光学有效区域之外，由于其同样会影响元件性能，所以仍然归入疵病范畴。检测光学元件表面疵病的方法可分为：①成像法，通过对表面疵病成像的方法来探测和评价精密光学元件表面的疵病情况，包括目测法、激光衍射图样识别法、滤波成像法等；②散射光能量分析法，通过对表面疵病所散射的光能量的大小及角度分布情况进行分析来评价精密光学元件表面的疵病状况，主要包括散射光能量积分法。