加工系统误差（machine error），工学-光学工程-光学应用-光学测量-自由曲面测量-加工性能评价，加工过程中由系统引起的误差量。加工系统误差包括机床几何误差、动态误差、热误差、切削力引起的误差、夹具误差，以及刀具误差等，甚至加工参数的设置也会引起加工系统误差。在超精密加工中，各个加工系统误差都会对最终的加工精度造成影响，从而需要对这些因素进行数学模型的建立，来描述其对加工系统的影响。针对机床几何误差的补偿和控制，首先需要了解各项误差的大小，所以需要对机床误差进行相应的测量。机床误差的测量主要采用激光干涉仪、球杆仪及位移传感器等。其中激光干涉仪的精度最高，而且可以测量机床误差的多个参数，但是价格昂贵、测量过程比较烦琐，尤其对于超精密机床，干涉仪的测量精度与机床精度为同一数量级，无法准确测量机床误差。因此，合适的测量方法进行各个误差的测量已成为超精密加工领域迫切需要研究的重要课题。在已知机床的加工误差情况下，需要对加工误差进行补偿。对于补偿方法的研究，国内外对于不同的补偿算法均有尝试，并进行面形误差补偿或者单个轴某项误差补偿。