电容式湿度仪（capacitive moisture meter），工学-仪器科学与技术-气象专用仪器-地面气象观测仪器-湿度测量仪器-电容式湿度仪，以固体吸湿材料的介电特性与环境相对湿度的关系为基础的测湿仪器。是气象观测中常用的测湿仪器。测量相对湿度的湿敏电容传感器由芬兰维萨拉（Vaisala）公司首先研制成功。电容式湿度传感器主要由金属电极、感湿膜和玻璃基片构成，电容式湿度传感器的上电极是一层多孔膜（高分子感湿膜），能透过水汽；下电极为一对刀状或梳状电极，引线由下电极引出。基板是玻璃，整个感应器由两个小电容串联组成。感湿膜厚度仅为0.5～1微米，一般用高分子薄膜制成，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，感湿膜能吸附或释放水汽分子，引起湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，电容变化量正比于相对湿度。电容式湿度仪具有体积小、响应快、互换性好等优点，其测量不确定度在0℃以上为3%～5%RH，在0℃以下为5%～8%RH，且调整方便，便于批量生产，已广泛应用于探空仪和自动气象站。