α能谱测量仪（alpha spectrometer），工学-仪器科学与技术-核仪器仪表-辐射监测仪器设备-工作场所及环境辐射监测仪器，通过测量样品中放射性核素发出的α粒子的能谱，结合定量分析软件，得到被测量放射性核素的α比活度和含量的仪器。α能谱测量仪主要包括真空测量室、真空泵、真空计、探测器、探测器偏压电源、前放、主放、模数转换器（ADC）、缓存及接口、计算机、数据采集和能谱分析软件等。有单路和多路测量方式，在多路测量中每一路谱仪可配不同规格型号的探测器，每一路都完全独立、互不干扰或影响。探测器主要采用金硅面垒探测器、钝化离子注入平面硅探测器（PIPS）。PIPS探测器具有超薄接触电极，可保证好的能量分辨率；探测器与封装盒之间结构紧凑，可保证高的几何效率；采用表面钝化工艺，可靠﹑经久耐用；具有较低的本底；可擦洗去污，重复使用。因此PIPS探测器已完全取代了金硅面垒探测器。α能谱测量仪的主要指标包括探测器面积、耗尽厚度、能量分辨率、本底、稳定性等。被测量的样品必须足够薄，以减少样品自吸收的影响。