光学性能测量（optical performance measurement），工学-光学工程-光学应用-光学测量-自由曲面测量，基于光的基础理论（反射，折射及衍射等），当光通过单个器件或者系统后，会呈现出光学现象，用于评价该光学现象的指标称为光学性能，包括波前，波前像差，点扩散函数，调制传递函数，畸变等。针对以上指标的测量称为光学性能测量。较常见的、可直接测量的光学性能评价参数有波前或波前像差、点扩散函数（PSF）、调制传递函数（MTF）。波前像差定义为光线经过光学器件或系统后，实际波前与理想波前之差，它定量地反映光学成像质量，是单个器件或者系统的综合评价指标。波前像差可利用不同类型波前传感器进行测量，包括干涉仪、哈特曼（Hartman）波前传感器和波前曲率传感器。干涉仪是用于检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为λ/10～λ/100，λ为检测用光源的平均波长。