电子金属靶材（electronic metal target），工学-材料科学与工程-电子信息材料-电子元器件材料-溅射靶材，用于电子技术的高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于微电子行业和集成电路制造业。根据应用领域的不同，电子金属靶材对金属材料的选择和性能要求存在一定的差异。除溅射条件外，电子金属靶材的成分及纯度、致密度、晶粒尺寸与晶粒取向、与背板焊接等都会对制作的薄膜性能产生影响。①成分及纯度的影响。根据应用，电子金属靶材主要包括半导体领域用靶材、平面显示用靶材、太阳能电池用靶材等。靶材的成分选择和主要应用见表1。