光电子能谱仪

光电子能谱仪（photoelectron spectrometer; PES），理学-物理学-光学-〔光的应用〕-〔光学仪器〕，基于光电效应，通过测量被激发逸出的光电子的动能，由此来获取样品表面元素组成、电子态、化学态、结合能等信息的仪器。光电子能谱仪可应用于各种固体材料表面（界面）的元素及化学态的定性、半定量、结构分析及化学键的研究。主要指标包括：空间分辨、能量分辨和灵敏度。光电子能谱仪的主要组成结构是：激发源、高真空系统，样品电离室、电子能量分析仪、信号处理系统。