超高真空系统

超高真空系统（ultra high vacuum system），理学-物理学-热学-〔第一批〕，本底压力达到10-7帕的真空系统。主泵多采用离子泵、分子泵和制冷机低温泵（也可采用油扩散泵），其他就是必需的系统结构和附件，如获得超高真空都要采取的除气手段（如烘烤、轰击、光照等）。