激光干涉法（laser interference technology），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-形位误差测量，以光波干涉为基础来进行测量的一门技术。在干涉测量中，干涉仪将光路分成两路或者多路，干涉条纹是两路光程差相同点连成的轨迹。若把被测物放入干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差将随着被测件的位置和形状而变，干涉条纹也随之变化，测量出干涉条纹的变化量，便可以间接获得被测物的被测信息。常用的激光干涉仪包括迈克耳逊干涉仪、马赫-曾德尔干涉仪、菲索干涉仪、塞曼-格林干涉仪以及近年来发展迅速的双拼激光干涉仪等。激光干涉法目前广泛应用于位移、长度、角度、面形、介质折射率变化、振动等方面的测量。图1是双频激光干涉仪测量直线度误差的原理图。双频激光器1发出的光束经分光后，测量光束通过1/4波片2后，变为两束正交线偏振光和。经半反半透镜3后射至偏振分光器4上，正交线偏光和光被分开成夹角为的两束线偏振光，分别射向双面反射镜5的两翼并由原路返回，返回光在偏振分光器4上重新会合，经半反射镜3、全反射镜6反射到检偏器7上，两束光经过检偏器后形成拍频并被光电接收器8接收。